MSB係列雙極脈衝磁控濺射電源（中頻電源）

　　主要用途：
　　雙極脈衝磁（cí）控濺射電源用於中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料，特別適合於反（fǎn）應磁控濺（jiàn）射。能增加離化率，減少電荷積累引起的異（yì）常放電（diàn），預防靶表（biǎo）麵中毒現象。
　　主要特點：
　　采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能（néng）元件，同時提（tí）高（gāo）了抑（yì）製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明（míng）顯。
　　具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳（chuán）統的恒流模式，更能（néng）保證鍍膜工藝的重（chóng）複性。
　　具有理想的電壓陡降特性（xìng），自動識別（bié）偽打火現象，充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
　　主要參數可大範圍（wéi）調節
　　可選擇手動（dòng）控製/模擬量接口控製，可（kě）選配RS485通訊接口。
　　標簽：中頻磁控濺射電源