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真空鍍膜主要(yào)指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜的產品,將被鍍薄膜基材裝在真空蒸鍍機(jī)中,用真空泵抽真(zhēn)空使鍍膜中的真空度(dù)達 到1.3x10-2~1.3x10-a,加熱坩鍋使高純度的(de)鋁絲(純度99.99%)在1200℃~1400℃的溫度下溶化並蒸發成氣態鋁。
氣態鋁微粒(lì)在(zài)移動的薄膜基材表麵(miàn)沉積、經冷卻還(hái)原即形成一層(céng)連續而(ér)光亮的金屬鋁層。具體包括(kuò)很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射(shè),MBE分子束(shù)外延,PLD激光濺射沉積等(děng)很多種主(zhǔ)要思路是(shì)分成蒸發和濺射兩種。
需要鍍(dù)膜的(de)被成為基片(piàn)或基材,鍍的材料(金屬(shǔ)材料可以是金、銀、銅、鋅(xīn)、鉻、鋁等,其中(zhōng)用的多的是鋁 ) 被成(chéng)為靶材。
基片與靶材同在真空腔中。 蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表麵組分以原(yuán)子團或離子形式被蒸(zhēng)發出(chū)來,並且沉降(jiàng)在基片表麵,通過成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄(báo)膜。
對於濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組(zǔ)分以原子團或離子(zǐ)形式(shì)被濺射出來,並且終沉積在基(jī)片表麵,經曆成膜過程,終形成(chéng)薄膜。
標簽:真空鍍膜電源
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