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真空(kōng)鍍膜設備為了與(yǔ)大氣(qì)隔絕,對於真空室的(de)各個部件的連(lián)接(jiē)處(chù)、轉動軸、蓋、大門、觀察窗、電源、信號引入端等(děng)所有地方,都應設計有可靠的真空密封措施。
真空密封通常有可拆密封和不可拆(chāi)密封(又稱永久性密封,包括一些封接、焊接等操作)的區(qū)別。而可拆密封(fēng)就相對比較複雜一點,包括了靜密封與動密封兩大類形式。
一、靜密封
真空(kōng)鍍膜(mó)室的靜密封是(shì)指連接件無法做相對運動的一種密封手段。如果隻是在低真空和高真空的環境,那可拆靜密封的密封材料通(tōng)常采用具有很大彈性的橡膠。如果是超高真空的環境要求,那麽可拆靜密封將有所(suǒ)限製(如高(gāo)溫烘烤溫(wēn)度、材料出氣率等),所以一般用(yòng)軟金屬做鍍膜真(zhēn)空室的密封材(cái)料。
常見的可拆靜密封材料有橡膠(jiāo)密封、金屬(shǔ)密封、氟塑料(liào)密(mì)封等,此外還包括一些(xiē)真空法蘭、真空規管(guǎn)接頭等零部件。
二、動密封
鍍膜工藝可(kě)能需要將外部的物料傳遞到真空室中。對此,真空(kōng)容器物料傳遞的運(yùn)動形(xíng)式(shì)一般可通過傳動軸的轉動、擺動以及往複直線運動等設計來實現。
最常(cháng)見的動密(mì)封型式(shì)是傳遞(dì)平動和(hé)轉動(dòng)的O形圈和填料密封,對於密封要求高的設備(bèi)最好選用兩個O形圈來實現,因為這種密封方式可確保裝置軸中心準直程度。
1、傳遞軸轉動
這一類的動密封形式應用(yòng)最廣的是威爾遜密封,其墊圈孔徑一般設計為軸直徑的0.65倍-0.8倍,再用金屬襯墊固定(dìng)住墊片邊緣,橡膠墊(diàn)孔扭曲變(biàn)形使內緣貼緊軸,達到(dào)密封效果。該類型密封可用傳(chuán)動軸直徑為1.5mm-70mm,但需要(yào)注意軸徑一旦超過20mm,在(zài)設(shè)計其結構時(shí)要知道壓力差的存(cún)在,不(bú)會把軸壓(yā)到真空室裏麵。傳(chuán)遞軸轉動密封常用雙墊圈,再於雙墊(diàn)圈間做(zuò)抽空或注(zhù)入真空潤(rùn)滑油脂等措施,以達到真空室密封性能的改善效果。
2、傳動軸擺動
這一類動密封形式主要靠膜片的變形(xíng)或金屬波紋管來(lái)實現傳遞軸(zhóu)的轉動或平移、擺(bǎi)動(dòng)。該類(lèi)型密封形式有密封可靠、耐高溫烘烤(因為材料多是耐高溫的 膜片或金屬波紋管)等優勢,但是又有價格高、壽命(mìng)短、位移量小等缺陷。現(xiàn)在主要在超高真(zhēn)空設備中使用。
3、往複直線運動
這一類動密封裝置中的O形圈,不管是以外徑還是(shì)內徑作滑動密封,裝置(zhì)壓縮率通常都取10%~12%之間。因(yīn)為是在拉伸後安(ān)裝O形圈,所以斷麵直徑縮小,導致實(shí)際壓(yā)縮量也對應縮小,實際壓縮率在拉伸(shēn)後一般不會低於8%。
標簽:真空鍍膜電源
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