脈衝偏壓電源的作用詳細（xì）介紹

脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉（chén）積設備中一個重要（yào）組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負（或正）偏壓。

　　1）提高真空等離子體內（nèi）帶電粒子的能量，轟擊清洗（xǐ）所鍍工件表（biǎo）麵，使工件表麵經受高（gāo）能粒子（zǐ）撞擊後得（dé）到嶄新的表層，從而（ér）提（tí）高後（hòu）續（xù）沉積膜（mó）層的結合力

　　2）提高並控製真空等離子體內帶（dài）電粒子的（de）能量，提高（gāo）膜層與工件基體（tǐ）結合力

　　3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則，調整膜層顏色

　　4）克服偏壓（yā）電（diàn）源工作於真空等離子體環境中（zhōng），由高電壓引起的陰極弧（hú）光（guāng）放電燒傷工件

標簽：脈衝偏壓電源