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1) 滅弧速度快.在主弧轟擊時采用20%的占空比,使工件上(shàng)所施加的高(gāo)偏壓(yā)可以自動 "過零".切(qiē)斷對已經形成電弧的供電,使電弧自動熄滅,不會形成連續的大弧光燒傷工件.
2) 工件溫升低(dī).由脈衝偏壓是(shì)間斷供電,工件隻(zhī)是(shì)在"占(zhàn)空"的時段內受到(dào)吸(xī)引過來的離(lí)子轟擊,在(zài)不導通的時段內工件不受(shòu)離子轟擊(jī),能減少總的平(píng)均能量輸入(rù),因此工件(jiàn)溫度比采用直流電源時連續受到離子轟擊的溫度低.
在高速鋼等500℃左右(yòu)回火的工(gōng)模具上沉積氮化鈦等硬質塗層時(shí),為了提高金屬的離化率和提高硬質塗層的致密度,通常將占(zhàn)空比調到80%左右.而對於低溫回火的工模具和鋅鋁(lǚ)合金件則需要將占空(kōng)比調低(dī),以降(jiàng)低沉積溫度、圖1.3-96為脈(mò)衝和直流 偏(piān)壓下基體溫度的對比(bǐ).適當控製占空比可以擴大電弧離子鍍的應用範圍.圖1.3-97為不周偏壓幅值下脈衝占空比對基體溫度的影響.
3) 大(dà)熔滴(dī)減少,膜層組織更加致密.由(yóu)表麵形貌照片.由(yóu)照片可知,采用脈衝偏壓電源後膜層組織中大深滴明顯減少或(huò)細小化.結於減少(shǎo)大熔滴的原因有不同解(jiě)釋進一步的研究表(biǎo)明,脈(mò)衝偏壓對(duì)小尺(chǐ)寸的大顆粒淨化效果比較明顯,對(duì)那些尺寸較大,以及從陰(yīn)極蒸發帶有(yǒu)原始動量直接噴射到基(jī)片的大顆粒是無能為力的(de),雖然脈衝偏壓(yā)不能徹底清除大顆粒,但其優(yōu)勢在於無需額外的附屬過濾設備,也不明顯降低沉(chén)積(jī)效率膜層應力小,可以獲得較厚的(de)硬質塗層,由於采用脈衝偏壓電源,工件上的膜層在連續(xù)生長過程(chéng)中間斷接受離子轟擊,可以鬆弛膜層生長過程中的(de)應力,從而獲得與基(jī)體結合良好的(de)厚塗層.目前可以沉積出4~7um的硬質塗層(céng),顯著提高工模具的壽(shòu)命.
標(biāo)簽:脈衝偏壓電源
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