安全可靠的真空鍍膜設備

真（zhēn）空鍍膜是一種產生薄膜材料的技術。在（zài）真空室內材料的原子從加熱（rè）源離析出來（lái）打到被鍍（dù）物體的表麵上。
　　然而，真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩（wěn）定（dìng）的真空度（dù）。目前，真空鍍膜設備密封形式（shì）多采用單根橡膠圈密封，這種密封形式適用（yòng）於較小密封麵的密封，對於較大密封麵采用該種密封方（fāng）式容易出現密（mì）封效（xiào）果不佳（jiā）的問題。
　　提供一種安全可靠的真空鍍膜（mó）設（shè）備，本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成（chéng）而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，並在手套箱高純惰性氣體（tǐ）氛圍下進行樣品的存放、製備（bèi）以及蒸鍍後樣品的檢測（cè）。
　　蒸發鍍膜與（yǔ）手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、等（děng）工藝全封閉製作，使整個薄膜生（shēng）長和器件製備過程高度集成在一（yī）個完整的可控環境氛圍的係統中，消除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大麵積有機光（guāng）電器件和電路的製備。
　　標簽：真空鍍膜（mó）電源