真空鍍膜機的正確操作步驟和故障處理方法（fǎ）

一、電控櫃的操作（zuò）

　　1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源

　　2、開總電源

　　3、開維持泵、真空計（jì）電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小於10後，再進（jìn）入下一步操作（zuò）。約需（xū）5分鍾。

　　4、開機械泵、予抽，開渦輪分（fèn）子泵電源、啟動，真空計開關換（huàn）到V2位置，抽到小（xiǎo）於2為止，約需20分鍾。

　　5、觀察渦輪（lún）分子泵讀數到達250以後（hòu），關予抽，開前機和高閥繼續抽真空，抽真空到（dào）達一定程度後才（cái）能開右邊的（de）高真空表頭，觀（guān）察（chá）真空（kōng）度。真空到達2×10-3以後才能開（kāi）電子（zǐ）槍電源（yuán）。

　　二、DEF-6B電子槍電源櫃的操（cāo）作

　　1、總電源

　　2、真空（kōng）鍍膜設備同時開電子槍控製Ⅰ和電子槍控（kòng）製Ⅱ電源：汽車玻璃鍍膜按電子槍控製Ⅰ電源、延時開關（guān），延（yán）時、電源及保（bǎo）護燈亮，三分鍾（zhōng）後延時及保護燈滅，若後門（mén）未關好或水流繼電器有故障，保護燈會常（cháng）亮。

　　3、開高（gāo）壓，高壓會達到10KV以上，調節束流（liú）可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉電流在（zài）1~1.7之間擺動。

　　三、關（guān）機順序

　　1、關高真（zhēn）空表頭、關分子泵。

　　2、待分子泵顯示到50時，依次關高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鍾。

　　3、到50以下時，再關維持泵。

　　鍍膜機常見故障及處理方法

　　檢（jiǎn）測不到掩膜夾具翻轉（zhuǎn）信號：

　　1、檢查翻麵信號源位置

　　2、將翻麵輸（shū）入信號人工短接，使用翻麵檢測功能，計算機能檢（jiǎn）測到信號時，證明問題在翻麵控製開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢（jiǎn）查線路（lù），然後更（gèng）換控（kòng）製卡（kǎ）。

　　掩膜夾具翻轉不穩定:

　　1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

　　2、檢測（cè）翻麵（miàn）控製開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。

　　3、檢查翻轉機（jī）構動作是否靈活（huó）可靠

　　4、檢查翻（fān）麵信號次數設置

　　5、檢查旋轉工作台是（shì）否與鍾罩內壁有磨擦現象

　　6、檢測旋轉工作台在轉（zhuǎn）動時的穩定（dìng）性

　　在同一掩膜夾具頻率散差大:

　　1. 檢查晶片（piàn）本（běn）身是否散（sàn）差大

　　2. 檢查膜層修正板位置是（shì）否變動,重新調節修正板

　　3．檢查一下擋板在開、關時是否完全遮擋住鉬舟

　　4．檢（jiǎn）查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟

　　5、檢（jiǎn）查鉬舟使用是否符合要（yào）求，要采用圓形鉬（mù）舟

　　鍋與鍋之間頻率散差大:

　　1、觀察一下監控片是（shì）否存在跳頻現象

　　2、反複測量統（tǒng）一監控片觀察振蕩器的穩定性（不超（chāo）過75Hz）

　　3、檢查冷卻水是（shì）否通暢

　　4、檢查鉬舟使（shǐ）用是否符合要（yào）求，要采用圓形鉬舟

　　5、監控片選用是否符合要求，建議采用我（wǒ）公司的監控片

　　鍍膜頻率（lǜ）不停止:

　　1、檢查頻率參數設置是否正確

　　2、鉬舟電流表是否有指示

　　3、鉬舟中是否有銀

　　4、監控片是否跳頻

　　5、修正係數是否錯誤

　　6、在出現非正常退後是否更換過監控片

　　測試不到頻率:

　　1、更換一（yī）下監控片

　　2、檢查一下測試彈片是否變形

　　3、用一（yī）隻5MHz的晶體直接（jiē）插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明是探（tàn）頭問（wèn）題，若（ruò）無頻（pín）率，用計數器（qì）測量一下振蕩（dàng）器輸出頻率是否異常，無（wú）正常輸出證明振蕩器有問題，有正常（cháng）輸出但（dàn）計算機無顯示證明控製卡有問題（tí）

　　控製閥均不動作:

　　1. 檢查（chá）5V電源是否有輸出，是否接好

　　2. 檢查固態繼電器板上電源公共端是否有電

　　控製閥個別不動作

　　1、檢查相應（yīng）的（de）固態繼電器是否有（yǒu）輸出

　　未達到真空度就工作:

　　1、數（shù）字真（zhēn）空計（jì）出現不正常（cháng）數字，且30秒內無變化，例如0.00-4（國產真空計常見）現（xiàn）象（xiàng）

　　2、指針表（biǎo）在真空計打開30秒後，黑色指針仍（réng）不擺動

　　監控片使（shǐ）用原則

　　1、監（jiān）控片表麵要清洗幹（gàn）淨

　　2、監控片（piàn）要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時以上禁止使用

　　3、監控（kòng）片及（jí）其（qí）表麵存在存在缺陷（xiàn）的禁（jìn）止使用

　　4、使用過程中（zhōng）要記錄（lù）好使用批次，嚴禁出現新舊混用

　　5、監控片反複使用（yòng）壽命為3次。

標簽：真空鍍膜電源