關於直流磁控濺射電源的主要用途講解

（1）各種功能性薄（báo）膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜（mó）。例如，低溫沉積氮化矽減反射膜，以提高太陽能電池的光電轉換效率。

　　（2）裝飾領域的應（yīng）用，如各種全（quán）反射膜及半透（tòu）明膜等（děng），如手機外（wài）殼（ké），鼠標等。

　　（3） 在微電子領域作為一種非熱式鍍膜技術，主要應（yīng）用在化學（xué）氣相（xiàng）沉積（CVD）或金屬有機

　　（4）化學氣相沉積（CVD）生長困難及不適用的（de）材料薄膜沉積，而且可以獲（huò）得大麵積非常均勻的薄膜。

　　（5） 在光學領域：中頻閉合場（chǎng）非平衡磁（cí）控濺射技術也已在光（guāng）學薄膜（如增透膜）、低輻射玻璃和透明導電玻璃等方麵得到應用（yòng）。特別是透明導電玻璃廣泛應用於平板顯示器件（jiàn）、太陽能電池、微波與射頻屏蔽（bì）裝置與器件（jiàn）、傳感器等。

　　（6）在（zài）機（jī）械加工（gōng）行業中，表麵功能膜、超硬膜，自（zì）潤滑薄膜的表麵沉積技術自問世以來得到長足發展（zhǎn），能（néng）有效的（de）提高表（biǎo）麵硬度（dù）、複合韌性（xìng）、耐磨損性和抗高溫化學穩定性能，從而大幅度地（dì）提高塗層產品的使用壽命。

　　直流磁控濺射電源除上述已被大量應用的領域，還在高溫超（chāo）導薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜（mó）、薄膜發光材料、太陽能電池、記憶合金薄膜研究方麵發揮重要作用。

標簽：直流磁控濺射電源